紅外線測(cè)溫儀是一種檢測(cè)裝置,能感受到被測(cè)量的信息,并能將檢測(cè)感受到的信息,按一定規(guī)律變換成為電信號(hào)或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲(chǔ)、顯示、記錄和控制等要求。它是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制的首要環(huán)節(jié)。
紅外線測(cè)溫儀的發(fā)展和傳感器制造的工藝有著密切的聯(lián)系,在近現(xiàn)代的科技發(fā)展中,制造工藝的進(jìn)步也促進(jìn)了紅外線測(cè)溫儀制造業(yè)的進(jìn)步。紅外線測(cè)溫儀在近現(xiàn)代主要的制造工藝有四種,分別是紅外測(cè)溫儀、陶瓷測(cè)溫儀、薄膜測(cè)溫儀和集成測(cè)溫儀。
1、薄膜測(cè)溫儀
薄膜測(cè)溫儀的制造涉及了納米等先進(jìn)技術(shù),薄膜測(cè)溫儀的制作方法是在介質(zhì)襯底也就是基板上,用敏感材料形成一層薄膜。薄膜測(cè)溫儀在制作時(shí)也可以復(fù)合一些電路系統(tǒng),這需要使用到混合工藝。
2、陶瓷測(cè)溫儀
陶瓷測(cè)溫儀即新工藝的應(yīng)用也是傳統(tǒng)材料的應(yīng)用,陶瓷測(cè)溫儀所使用的陶瓷材料是精細(xì)陶瓷也被稱為高科技陶瓷,陶瓷測(cè)溫儀的制造主要是依靠標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或變種的溶膠工藝,完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,將成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。
3、集成測(cè)溫儀
集成測(cè)溫儀的生產(chǎn)工藝,和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)硅基半導(dǎo)體集成電路工藝是基本相同的。測(cè)溫儀通過(guò)集成方式進(jìn)行制造后,可以獲得更小的體積并集成更多的功能,部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能,來(lái)處理被測(cè)量信號(hào)。
4、厚膜測(cè)溫儀
厚膜測(cè)溫儀和薄膜測(cè)溫儀相對(duì)應(yīng),也是在基片上形成膜來(lái)進(jìn)行制造,區(qū)別是厚膜測(cè)溫儀是在陶瓷制造的基片上,用敏感材料的漿料進(jìn)行涂覆。厚膜測(cè)溫儀的制造材料多是氧化鋁,涂層形成后進(jìn)行熱處理,這樣厚膜即可成型。
測(cè)溫儀的制造工藝中厚膜測(cè)溫儀和陶瓷測(cè)溫儀的生產(chǎn)工藝有很多相通之處,因此也可以將厚膜測(cè)溫儀制造工藝?yán)斫鉃樘沾蓽y(cè)溫儀制造工藝的一種變形。測(cè)溫儀的各種制造工藝之間并沒(méi)有明確的優(yōu)劣之分,各個(gè)制造工藝都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足,但目前厚膜和陶瓷技術(shù)應(yīng)用的更為廣泛。